产品详情
HIMC自2016年开始自主研发OHT，目前已自主迭代至第四代。HIMC天车不仅已通过SEMI认证，更通过实际运行积累了海量“负载量产”数据，核心性能匹配日系友商，可靠性、稳定性亦取得客户认证，不仅具备标准12寸FAB厂的设计安装交付经验，也具备给低天花板的厂房及旧厂房进行改造的经验。
| 项目 | HIMC | |
| 稳定性 | MTBF | ≥2000hr |
| URTIME | ≥99.999% | |
| MTTR | ≤10min | |
| 安全性 | 阻燃等级 | 所有原辅物料选型满足半导体晶圆厂对阻燃等级的规范标准 |
| 静电防护 | 静电防护符合SEMI规范 | |
| 天车及FOUP防护 | 具有防碰撞保护、距离检测、碰撞紧急停止机制、障碍物检测、防止坠落保护、晃动检测、夹持精准度检测等多重防护及报警措施 | |
| 定制开发 | 6'、8'、12'多种尺寸Wafer客制化开发，AMHS全系统产品定制化搭配研发交付 | |