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产品特性 Stocker系半导体工厂的自动保管仓库,具备多层存放空间,主要用于半导体工厂的FOUP自动化搬送、存储,实现晶圆在工艺之间的流转。
0573-85286668
产品详情

HIMC的Stocker具备可靠的安全设计和碰撞保护功能,能有效保护FOUP、晶圆、人身安全。标准的SEMI接口,可有效对接MCS系统,同时可根据客户的要求,定制功能及尺寸。同时公司为客户提供NTB(机台缓冲存储设备)、OHB(空中缓存站)等独立或与天车系统进行物理交互的缓存设备,根据客户具体情况提供不同形式、规格的自动存储方案,有效提升FAB厂的空间利用率和传送效率。





项目
HIMC
最大载荷

20KG

存储量

400~

吞吐量

150UPH

搬运机构Crane

2轴机械手臂+走行轴+升降轴

电源

3相200~220V/380V AC

Crane取电方式

非接触式供电/集电轨/坦克链

走行

最大速度2m/s

升降

最大速度2m/s

安全

安全措施符合SEMI标准

振动

≤0.5G

噪音

噪音水准80DB(ARENG)之下